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射頻易商城_芯片電容_如何制造高介薄型陶瓷芯片電容⑤

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高介薄型陶瓷芯片電容制備工藝研究⑤

2. 2  過(guò)渡層厚度對(duì)器件性能的影響

選用 HT 作為陶瓷介質(zhì)基片, 由 于復(fù)合膜層( 如TaN/TiW、 TiW/Ni) 不易準(zhǔn)確分解各層的厚度, 會(huì)使測(cè)試數(shù)據(jù)出現(xiàn)錯(cuò)誤。 因此針對(duì)過(guò)渡層厚度對(duì)器件性能影響的分析, 高介薄型陶瓷芯片電容的制備選擇溫度穩(wěn)定性較好、 制備難度較低的 TiW/Au 膜系, 通過(guò)控制濺射的參數(shù), 使過(guò)渡層的厚度分別為 80, 400, 600nm, 種子層濺射完成后觀察表面覆蓋情況, 然后進(jìn)行外金屬電極制備和分片切割, 最后測(cè)量高介薄型陶瓷芯片電容的性能。
2. 2. 1  不同過(guò)渡層厚度樣品表面覆蓋情況
在濺射完成后, 通過(guò) SEM 觀察樣品表面, 不同厚度過(guò)渡層對(duì)應(yīng)樣品表面的 SEM 圖如圖 6。從圖 6 ( a) 可以看出, 采用 80 nm 厚度過(guò)渡層制備的電容樣品表面膜層覆蓋不完全, 表面有明顯的陶瓷介質(zhì)晶粒。 當(dāng)過(guò)渡層厚度增加至 400 nm 時(shí), 電容樣品表面覆蓋情況有明顯改善, TiW 層將陶瓷表面包裹完全, 基本看不見(jiàn)裸露在外的陶瓷晶粒, 充分阻斷了表

面金屬電極與陶瓷介質(zhì)的接觸。 再將緩沖層厚度提高到 600 nm 后, 電容樣品表面包裹覆蓋情況進(jìn)一步提高, 已經(jīng)完全看不到裸露在外的陶瓷晶粒, 而且也看不見(jiàn)晶粒的輪廓, 整個(gè)緩沖層表面平整、 光滑且致密。因此從膜層覆蓋的情況來(lái)看, 膜層厚度在 400 nm 時(shí)已經(jīng)能比較好地覆蓋介質(zhì)陶瓷, 當(dāng)增加到 600 nm 后, 表面覆蓋更加完整, 已基本看不到表面晶粒的輪廓。

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型號(hào):C12-15-100V-100
容值/容差:10pF / ±20%
溫度系數(shù):±15%@-55~+125℃
絕緣電阻@電壓:≥100G@100V
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封裝尺寸:0.381*0.381*0.178 mm
性能特點(diǎn):尺寸小、容值大,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,單面電極留有絕緣邊;采用MM結(jié)構(gòu),產(chǎn)品寄生參數(shù)小,使用頻率高至100GHz;表面純金電極,適合金絲、金帶等微組裝工藝;適合Au/Sn、Au/Si、Au/Ge 共晶焊,以及Sn /Pb、導(dǎo)電膠粘接;七專級(jí)/ 普軍級(jí)可選。

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